上海伯东德国普发 pfeiffer 真空镀膜工艺监测器 spm 220 为镀膜工艺的定性和定量气体分析提供了完美的解决方案. 搭配 hipace 涡轮分子泵组和专门开发的镀膜工艺监测器离子源, 在高达 10-2 hpa 的压力下, 实现了精确到分钟的工艺气体分析. pfeiffer 同时提供一个带有压差孔板法兰的型号供选择, 可以实现在高达 10 hpa 的压力范围里进行直接的工艺气体分析.镀膜工
镀膜工艺气体监测质谱 spm 220 产品详情
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镀膜工艺气体分析仪 spm 220
上海伯东德国普发 pfeiffer 真空镀膜工艺监测器 spm 220 为镀膜工艺的定性和定量气体分析提供了完美的解决方案. 搭配 hipace 涡轮分子泵组和专门开发的镀膜工艺监测器离子源, 在高达 10-2 hpa 的压力下, 实现了精确到分钟的工艺气体分析. pfeiffer 同时提供一个带有压差孔板法兰的型号供选择, 可以实现在高达 10 hpa 的压力范围里进行直接的工艺气体分析.
镀膜工艺气体分析仪 spm 220 优势
用于瞬时过程监测的镀膜工艺监测器离子源
用于 h2, o2, h2o 和 co2 的优秀检测限
对测量结果的小化背景影响
提供压力高达 10 hpa 的压差型号
多重操作允许带单个 pc 的多个质谱仪系统进行数据评估
灵活集成的紧凑尺寸
通过各种数字和模拟输入和输出, 使系统集成方便而灵活
镀膜工艺气体分析仪 spm 220 应用
半导体生产,玻璃镀膜, 薄膜太阳能电池发电,研发
镀膜工艺气体监测质谱 spm 220 组成：涡轮分子泵+四级杆质谱+离子源
镀膜工艺气体监测质谱 spm 220 优势：
镀膜工艺监测器离子源，适用于瞬时过程监测
对气体h2、o2、h2o 和 co2 优秀检测极限
对测量结果的小化背景影响
压力高达 10 hpa 的压差版本
多重操作允许带单个 pc 的多个质谱仪系统进行数据评估
紧凑设计，易于系统集成
通过各种数字和模拟输入和输出
pfeiffer监测质谱 spm 220 技术参数：
spm 系统控制
bru 220
电压
115-230v
前级泵
mvp 020-3
四极控制
qme 220
带 spm 离子源的分析仪
qma 220
探测器
c-sem/faraday
杆系统：材料
不锈钢
杆系统：直径
6 mm
杆系统：长度
100 mm
检测极限（氩中）：二氧化碳
< 100ppb
检测极限（氩中）：氧气
< 100ppb
检测极限（氩中）：氮
< 100ppb
检测极限（氩中）：水
< 3000ppb
检测极限（氩中）：水蒸气
< 500ppb or < 6000ppb
涡轮分子泵
带有 tc 110 rs 的 hipace 80
质量数
1-100 amu or 1-200 amu
过程压力至
1 hpa or 10 hpa or 8hpa
连接法兰（入口）
dn 40 cf-f
重量
13 kg
若您需要进一步的了解详细信息或讨论，请联络上海伯东叶女士,分机109
镀膜工艺气体监测质谱 spm 220
镀膜工艺气体监测质谱 spm 220