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溅射靶材_尤特-365day服务(图)

2020/10/22 0:50:32发布202次查看
     广州市尤特新材料有限公司是一家扎根于电子信息材料行业的高新技术企业,以生产信息存储记录材料为起点,顺延产业技术发展的方向,深耕产业技术应用的潜力,经过11年的开拓已发展成为拥有电子浆料(贵金属镀膜技术)、金属薄膜靶材(真空镀膜靶材技术)信息存储记录材料(激光读写光盘生产技术)、工程塑料(pc再生造粒及改性技术)、触控显示材料(手机、平板触摸屏材料)、石墨烯材料(导电、散热)、uv化工材料(uv油墨、uv电子胶粘剂)这七大核心技术为中心的产业集团。
对于ito靶材,我国一直处于技术弱势地位,国际高端ito靶材由jx日矿日石金属、日本三井矿业、日本东曹、韩国三星、德国及美国的少数几家公司所垄断。其中又以日本日矿和三井为最,其两家几乎占据了高端tft-lcd市场用ito靶材的全部份额和大部分的触摸屏面板市场,每家年供应量据称达到600吨以上。
      近期,在广西柳州举办的业界高端镀膜工艺研讨会上,与会专家一致认为,国内各厂商在靶材的研发过程中出现各种问题是必然的,也不可否认国内在这方面的技术远远落后于日本和韩国。目前,国内ito溅射靶材主要应用于中低端产品商,而高端ito靶材产品则从日韩进口。本土ito靶材厂商约占国内市场30%的份额,国内大部分的ito靶材市场则由日韩瓜分。
广州市尤特新材料有限公司是一家扎根于电子信息材料行业的高新技术企业,以生产信息存储记录材料为起点,顺延产业技术发展的方向,深耕产业技术应用的潜力,经过11年的开拓已发展成为拥有电子浆料(贵金属镀膜技术)、金属薄膜靶材(真空镀膜靶材技术)信息存储记录材料(激光读写光盘生产技术)、工程塑料(pc再生造粒及改性技术)、触控显示材料(手机、平板触摸屏材料)、石墨烯材料(导电、散热)、uv化工材料(uv油墨、uv电子胶粘剂)这七大核心技术为中心的产业集团。
微电子领域
      在所有应用产业中,半导体产业对靶材溅射薄膜的品质要求是最苛刻的。如今12英寸 (3 0 0衄 口)的 硅晶片已制造出来.而互连线的宽度却在减小。硅 片制造商对靶材的要求是大尺寸、高纯度、低偏析和 细晶粒, 这就要求所制造的靶材具有更好的微观结构。靶材的结晶粒子直径和均匀性 已被认为是影响薄膜沉 积率的关键因素。另外,薄膜的纯度与靶材的纯度关 系极大,过去99.995 %(4 n5) 纯度的铜靶,或许能够满 足半导体厂商0.3 5pm 工艺的需求,但是却无法满足如今0.2 5um的工艺要求, 而未米的 0.18um }艺甚至0.13m工艺,所需要的靶材纯度将要求达 到5甚至 6n以上。铜与铝相比较,铜具有更高的抗电迁移能力及更 低的电阻率,能够满足! 导体工艺在0 .25um 以下 的亚微米布线的需要但却带米了其他的问题:铜与 有机介质材料的附着强度低.并且容易发生反应,导 致在使用过程中芯片的铜互连线被腐蚀而断路。为了解决以上这些问题,需要在铜与介质层之间设置阻挡 层。阻挡层材料一般采用高熔点、高电阻率的金属及其化合物,因此要求阻挡层厚度小于50n m,与铜及介质材料的附着性能良好。铜互连和铝互连的阻挡层 材料是不同的.需要研制新的靶材材料。铜互连的阻 挡层用靶材包括 t a 、w、t a s i 、ws i 等 .但是t a 、w 都是难熔金属.制作相对困难,如今正在研究钼、铬 等的台金作为替代材料。
广州市尤特新材料有限公司是一家扎根于电子信息材料行业的高新技术企业,以生产信息存储记录材料为起点,顺延产业技术发展的方向,深耕产业技术应用的潜力,经过11年的开拓已发展成为拥有电子浆料(贵金属镀膜技术)、金属薄膜靶材(真空镀膜靶材技术)信息存储记录材料(激光读写光盘生产技术)、工程塑料(pc再生造粒及改性技术)、触控显示材料(手机、平板触摸屏材料)、石墨烯材料(导电、散热)、uv化工材料(uv油墨、uv电子胶粘剂)这七大核心技术为中心的产业集团。
国家开始把铟作为一种国家战略资源,从2007年就开始实施出口配额制度。提高行业准入门槛、控制开采总量、实行更严格的出口配额、推动行业整合、并实施战略收储等一系列政策,逐步收紧对铟的供给。此外,国内有成立了泛亚有色金属交1易所,主导了铟金属国际市场价格。
    自2011年以来,在美、日、韩等主要平板显示市场需求增加的推动下,铟价已出现快速持续上涨。另一方面,中国的战略收储加剧了市场的恐慌。中银国际预计,中国政府未来如果对铟行业加紧控制并实施战略收储,将使得市场供应趋紧并推升铟价大幅上升。从长远看来,ito靶材、led芯片以及cigs薄膜太阳能电池需求将持续增长。不久的将来,液晶屏领域铟年使用量、cigs光电薄膜年使用量将大幅度增长,以产品寿命保守估计6年计算,目前已探明铟全球总储量将不足以支撑消费使用量。而寻找氧化铟锡(ito)替代性新材料成为触控面板透明导电薄膜领域的新选择,全球众多业者纷纷研发各式技术意欲作为ito代替品。
  目前,最有希望的ito代替品的新材料有石墨烯和纳米银线两种。

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